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前制程关键设备取得重大技术突破
发布时间:2014-06-12 10:36 来源: 点击:
近日,装备子集团所属的北京中科信公司和上海微高公司在前制程关键设备上取得了重大的技术突破。

在离子注入机领域,北京中科信公司“十二五”45-22nm低能大束流离子注入机低能减速技术取得新突破。低能减速技术作为低能大束流注入机的关键技术,直接关系到“十二五”项目的成败,一直以来,备受关注。从最初的无法进行低能减速,到5kev能量下调试的成功,再到2kev能量下调试的成功,整个自主研发的过程凝聚着北京中科信人的汗水与智慧。目前,在引束实验过程中,2kev能量时打火频率降至最低,并在到靶束流及传输效率方面进一步提高。

在投影光刻机领域,上海微高公司承担的高速高精度工件台系统、精密自动对准系统、高速物料传输系统研制取得了重要进展,各分系统通过工程设计、制造集成、系统集成测试,已达到预定的技术指标要求




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